掃描電鏡是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的高分辨率微區(qū)形貌分析儀器。其特有的特點主要體現(xiàn)在以下幾個方面：

高分辨率與寬放大倍數(shù)范圍：

SEM掃描電鏡具有相當(dāng)高的分辨率，一般可達(dá)到3.5~6nm，某些高性能型號甚至能達(dá)到1.0nm或更低。

放大倍數(shù)變化范圍大，一般為15~200000倍，某些型號的高放大倍數(shù)模式可達(dá)到800000倍。這種寬范圍的放大倍數(shù)使得掃描電鏡既適用于宏觀普查，也適用于微觀細(xì)節(jié)的觀察分析。

大景深與立體感：

SEM掃描電鏡的景深極大，約為光學(xué)顯微鏡的300倍，這使得掃描電鏡在觀察表面起伏程度較大的樣品時具有顯著優(yōu)勢。

由于景深大，SEM掃描電鏡所成的圖像富有立體感、真實感，易于識別和解釋。

制樣簡單與樣品多樣性：

掃描電鏡的樣品制備相對簡單，通常只需進(jìn)行基本的清洗、干燥和導(dǎo)電處理。

SEM掃描電鏡可觀察的樣品種類豐富，包括大塊試樣（直徑可達(dá)30mm，半導(dǎo)體工業(yè)中可更大）、粉末、薄膜等，幾乎不損傷和污染原始樣品。

多功能分析：

掃描電鏡不僅可用于觀察樣品的形貌，還可與X射線譜儀等附件配接，進(jìn)行微區(qū)成分分析。

配有光學(xué)顯微鏡和單色儀等附件時，SEM掃描電鏡還可觀察陰極熒光圖像和進(jìn)行陰極熒光光譜分析等。

動態(tài)試驗與環(huán)境控制：

掃描電鏡可使用加熱、冷卻和拉伸等樣品臺進(jìn)行動態(tài)試驗，觀察在不同環(huán)境條件下的相變及形態(tài)變化等。

SEM掃描電鏡通常配備有真空系統(tǒng)和高精度控制系統(tǒng)，以確保實驗環(huán)境的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。

先進(jìn)的電子束系統(tǒng)：

掃描電鏡采用先進(jìn)的電子束系統(tǒng)，如ZrO/W肖特基電子槍等，能夠提供穩(wěn)定、高亮度的電子束。

電子束系統(tǒng)通常配備有電流和電壓調(diào)節(jié)功能，以適應(yīng)不同樣品的觀察需求。

廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域：

SEM掃描電鏡已被廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、司法、地球科學(xué)、材料學(xué)以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的微觀研究。

在地球科學(xué)方面，掃描電鏡可用于結(jié)晶學(xué)、礦物學(xué)、礦床學(xué)、沉積學(xué)、地球化學(xué)、寶石學(xué)等多個分支學(xué)科的研究。

綜上所述，SEM掃描電鏡以其高分辨率、寬放大倍數(shù)范圍、大景深與立體感、制樣簡單與樣品多樣性、多功能分析、動態(tài)試驗與環(huán)境控制以及先進(jìn)的電子束系統(tǒng)等特有特點，在科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用中發(fā)揮著重要作用。