掃描電鏡中，電子束通過(guò)掃描樣品表面來(lái)獲得樣品的形貌和表面信息。由于電子束是一種帶負(fù)電的粒子束，當(dāng)它照射到非導(dǎo)電材料表面時(shí)，由于電子束帶負(fù)電，會(huì)使得樣品表面帶正電，從而在樣品表面形成一個(gè)電荷分布。這樣就會(huì)導(dǎo)致樣品表面出現(xiàn)電荷積累效應(yīng)，從而產(chǎn)生電場(chǎng)，進(jìn)而使得SEM掃描電鏡信號(hào)的收集變得復(fù)雜和不穩(wěn)定，會(huì)影響到圖像質(zhì)量和分析精度。

因此，在掃描電鏡中，樣品要具有良好的導(dǎo)電性能，以便電子束能夠在樣品表面流動(dòng)并且收集掃描信號(hào)。常見(jiàn)的導(dǎo)電材料有金屬、碳材料、半導(dǎo)體材料等。對(duì)于非導(dǎo)電材料，需要進(jìn)行金屬鍍膜或者碳鍍膜等處理來(lái)提高其導(dǎo)電性能，從而能夠在SEM掃描電鏡中獲得清晰的圖像和可靠的分析結(jié)果。