掃描電鏡中的電子束和樣品之間的相互作用是通過電子束與樣品中的原子和電子相互作用而產(chǎn)生的。這種相互作用產(chǎn)生的信號被探測器捕捉并轉(zhuǎn)換成圖像。

具體來說，SEM掃描電鏡的工作原理如下：

電子束的發(fā)射：掃描電鏡通過電子源（如熱陰J或場發(fā)射陰J）發(fā)射出高速電子束。

電子束的聚焦和控制：電子束經(jīng)過一系列的透鏡系統(tǒng)進行聚焦和控制，以形成細且聚焦的束流。

電子束與樣品的相互作用：聚焦的電子束照射到樣品表面，與樣品中的原子和電子相互作用。這些相互作用包括散射、透射、吸收、反射等過程。

信號的產(chǎn)生：樣品中的相互作用過程會產(chǎn)生多種信號，如二次電子、反射電子、透射電子、散射電子、輻射等。這些信號攜帶著關(guān)于樣品表面形貌、結(jié)構(gòu)、組成等信息。

信號的探測：探測器位于樣品與電子束交互區(qū)域，用于捕捉并轉(zhuǎn)換信號為電信號。

圖像的形成：探測器接收到信號后，通過信號處理和轉(zhuǎn)換，將其轉(zhuǎn)化為圖像。圖像可以以亮度變化或灰度級表示樣品的形貌、結(jié)構(gòu)或組成信息。

在SEM掃描電鏡中，電子束的掃描和信號的探測是以像素為單位進行的，通過逐點掃描和信號采集，構(gòu)建出完整的圖像。通過掃描電子顯微鏡的操作和圖像處理，我們可以獲取高分辨率的樣品表面或內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖像。