掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進行微觀成像。

SEM 掃描電鏡的優(yōu)點：

①有較高的放大倍數(shù)，20-200000倍之間連續(xù)可調(diào)；

②有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結(jié)構(gòu)；

③試樣制備簡單，目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時進行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析（即SEM-EDS），因此它是當(dāng)今十分重要的科學(xué)研究儀器之一。

SEM掃描電鏡的組成及原理：

掃描電子顯微鏡由電子光學(xué)系統(tǒng)，信號收集及顯示系統(tǒng)，真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng)組成。從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。

當(dāng)一束極細的高能入射電子轟擊掃描樣品表面時，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時可產(chǎn)生電子-空穴對、晶格振動（聲子)、電子振蕩（等離子體）。

掃描電鏡的應(yīng)用范圍：

1. 生物：種子、花粉、細菌……

2. 醫(yī)學(xué)：血球、病毒……

3. 動物：大腸、絨毛、細胞、纖維……

4. 材料：陶瓷、高分子、粉末、金屬、金屬夾雜物、環(huán)氧樹脂……

5. 化學(xué)、物理、地質(zhì)、冶金、礦物、污泥（桿菌） 、機械、電機及導(dǎo)電性樣品，如半導(dǎo)體(IC、線寬量測、斷面、結(jié)構(gòu)觀察……）電子材料等

6. 新型陶瓷材料分析等