掃描電鏡對樣品微區(qū)結(jié)構(gòu)的觀察和分析具有簡單、易行等特點 ，是目前應(yīng)用得*為廣泛的一種試樣表征方式，它相比于光學顯微鏡和透射電鏡有其特有的優(yōu)勢。

1、景深長，視野大

SEM掃描電鏡物鏡使用小孔視角和長焦距因而景深較大。 相同放大倍數(shù)時掃描電鏡景深比透射電鏡大且比光學顯微鏡大很多。 SEM掃描電鏡中二次電子的產(chǎn)生量和電于束入射角度在試樣表面上的漲落有一定關(guān)系，因此，掃描電鏡成像立體感較強，可以用來觀察試樣三維立體結(jié)構(gòu)。

2、樣品制備

簡單SEM掃描電鏡的樣品室較大，可觀察大到200毫米，高為幾十毫米的樣品。掃描電鏡的樣品制備相比透射電鏡而言要簡單得多 ，樣品可以是斷口，塊體，粉體等。對于導電的樣品只要大小合適即可直接觀察，對于不導電的樣品需在樣品表面噴鍍一層導電膜（ 通常為金、鉑或碳）后進行觀察。現(xiàn)代發(fā)展起來的低壓SEM掃描電鏡和環(huán)境掃描電鏡可以對不導電樣品，生物樣品等進行直接觀察，極大地擴展了掃描電鏡的應(yīng)用范圍。

3、分辨本領(lǐng)高，倍率連續(xù)可調(diào)

SEM掃描電鏡具有很高的分辨率 ，普通掃描電鏡的分辨率為幾納米，場發(fā)射掃描電鏡的分辨率可達1nm ，已十分接近透射電鏡的水平。光學顯微鏡只能在低倍率下使用，而透射電鏡只能在高倍率下使用，SEM掃描電鏡可以在幾倍到幾十萬倍的范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)，彌補了從光學顯微鏡到透射電鏡觀察的一個很大的跨度，實現(xiàn)了對樣品從宏觀到微觀的觀察和分析。

4、綜合分析能力強

掃描電鏡可以對樣品進行旋轉(zhuǎn)，傾斜等操作，能對樣品的各個部位進行觀察 。此外，SEM掃描電鏡可以安裝不同的檢測器（如能譜儀（EDS），波譜儀（WDS）以及電子背散射衍射（EBSD）等）來接收不同的信號，以便對樣品微區(qū)的成分和晶體取向等特性進行表征。此外，還能在掃描電鏡中配置相應(yīng)附件，對樣品進行加熱，冷卻，拉伸等操作并對該動態(tài)過程中發(fā)生的變化進行實時觀察。